簡(jiǎn)要描述:Layertec 反射鏡,輸出耦合器和鏡片銀鏡的反射率可以通過(guò)介電涂層來(lái)提高。必須精確指增強反射率的帶寬。在該頻帶之外,反射鏡的反射率可能低于標準銀鏡的反射率。
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品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區間 | 面議 |
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組件類(lèi)別 | 光學(xué)元件 | 應用領(lǐng)域 | 醫療衛生,環(huán)保,化工,電子,綜合 |
Layertec 反射鏡,輸出耦合器和鏡片
圖1:隨機偏光(a)的反射鏡(AOI = 45°)在193 nm下的測量的反射率和透射光譜(a)和在兩面都涂有193 nm氟化物AR涂層的CaF2窗口(b)
Ø所有氟化物系統均確保高反射率和高損傷閾值
ØPR涂層的公差為:
ر 2% for R = 10 ... 30 %
ر 3% for R = 30 ... 75 %
ر 2% for R = 75 ... 90 % and
ر 1% for R > 90 %
ØCaF2(肖特公司193nm受激準分子級)和熔融石英的高質(zhì)量鏡面基板,窗口片和透鏡
Ø根據客戶(hù)要求開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)特定組件,例如分束器和可變衰減器
Ø單波長(cháng)增透膜,剩余反射率在A(yíng)OI = 0°時(shí)R <0.25%,在A(yíng)OI = 45°時(shí)R <0.6%(非偏振光)
Ø寬帶和多波長(cháng)增透膜
可變衰減器
圖2:在不同的AOI(a)和透射率與AOI(b)下測得的可變衰減器的透射率光譜; 透射率從AOI = 0°時(shí)的T> 88%到AOI = 45°時(shí)的T <2%
Ø可根據要求提供不同傳輸范圍的衰減器
Ø衰減器可以與CaF2熔融石英的AR涂層補償板一起提供
鋁反射鏡
圖3:優(yōu)化了針對193nm的受保護Al鏡(a)和針對193nm的增強Al鏡(AOI = 45°(b))的測量反射光譜
增強鋁鏡:Rp
> 93%
Rs
> 99%
Rr
> 96%
有關(guān)鋁鏡的更多信息,請參見(jiàn)目錄中的96-97頁(yè)。
標準ArF激光元件的技術(shù)參數
Coating | Substrate | Damage threshold* | Lifetime test |
Fluoride coatings | |||
AR (0°, 193nm) R < 0.25% | CaF2 | 4 – 5 J/cm2 | 2.5 x 108 |
AR (0°, 193nm) R < 0.25% | fused silica | 2 – 3 J/cm2 | |
PR (0°, 193nm) R = 25% | CaF2 | 3 – 4 J/cm2 | 2.5 x 108 |
PR (0°, 193nm) R = 50% | CaF2 | 2 – 3 J/cm2 | 109 |
HR (0°, 193nm) R > 96% | CaF2 | 2 – 3 J/cm2 | 109 |
HR (45°, 193nm) R > 95% (random polarized) | CaF2 | 2 – 3 J/cm2 | |
Oxide coatings | |||
HR (0°, 193nm) R>92% | fused silica | <1 J/cm2 |
1)1000 - on -1,14 ns; 在Laser LaborGöttingen和Friedrich-Schiller - Jena大學(xué)進(jìn)行了測量
2)能量密度:18mJ / cm 2,重復頻率:4kHz,脈沖持續時(shí)間:30ns; 在哥德根的COHERENT AG進(jìn)行測試
3)能量密度:55mJ / cm 2,重復率:1kHZ,脈沖持續時(shí)間15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進(jìn)行測試
4)能量密度:27mJ / cm 2,重復頻率:4kHz,脈沖持續時(shí)間:30ns; 在哥德根的COHERENT AG進(jìn)行測試
5)能量密度:80mJ / cm 2,重復頻率:1kHz,脈沖持續時(shí)間:12ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進(jìn)行測試
Layertec 反射鏡,輸出耦合器和鏡片
圖1:157nm的激光鏡(AOI = 0°,a)和轉向鏡(AOI = 45°,b)的測量反射率和透射光譜
Ø激光鏡:AO = 0°時(shí)R = 92 ... 95%
Ø轉向鏡(AOI = 45°):
ØRs
> 97%
ØRp
> 90%
ØRr
> 92%
ØCaF2的高品質(zhì)鏡面基板,窗口片和鏡片(肖特公司157nm受激準分子級品質(zhì))
Ø具有公差的PR涂層
ر 2 % for R = 10 ... 30 %
ر 3 % for R = 30 ... 75 % and
ر 2 % for R = 75 ... 90 %
Ø根據客戶(hù)要求開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)特定組件,例如分束器和可變衰減器
圖2:標準輸出耦合器在R = 50±3%和R = 25±2%時(shí)測得的反射光譜(背面未鍍膜)
可變衰減器
圖3:可變衰減器在不同AOI(a)和透射率與AOI(b)下測得的透射光譜透射率從AOI = 0°時(shí)的T> 75%到AOI = 45°時(shí)的T <5%
F2激光鋁鏡
圖4:受保護的Al鏡(a)和增強型Al鏡在157nm下的反射光譜(b)
受保護的鋁鏡(針對157nm進(jìn)行了優(yōu)化):R = 74 ... 78%
電介質(zhì)增強型鋁鏡:AOI = 0°時(shí)R = 94%
有關(guān)鋁鏡的更多信息,請參閱我們的目錄中的第96 - 97頁(yè)。
標準F2激光組件的技術(shù)數據
Coating | Spectral performance | Lifetime test |
HR (0°, 157nm) | R = 92 ... 95 % | 2 x 108 |
HR (45°, 157nm) | R = 90 ... 94 % (random pol.) | |
PR (0°, 157nm) | R = 50 ± 3 % | 2 x 108 |
PR (0°, 157nm) | R = 25 ± 3 % | 2 x 108 |
Attenuator | T = 67 ± 3 % | 5 x 107 |
Attenuator | T = 33 ± 3 % | 1 x 108 |
Beam splitter | T = 20 ± 3 % | 1 x 108 |
AR (0°, 157nm) | 0.3 ... 0.7 % |
*能量密度:25mJ / cm2,重復頻率:800Hz,脈沖持續時(shí)間:15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進(jìn)行測試
**能量密度:15mJ / cm 2,速率:200Hz,脈沖持續時(shí)間:20ns; 在光電技術(shù)研究所(IPHT)耶拿研究所進(jìn)行測試
***能量密度:20 mJ / cm2,速率:50Hz,脈沖持續時(shí)間:20ns; 在光電技術(shù)研究所(IPHT)耶拿研究所進(jìn)行測試
反光鏡和部分反射鏡
Ø對于s和p偏振光,在A(yíng)OI = 0°和AOI = 45°時(shí)R> 99.9%的HR腔和轉向鏡
Ø典型反射率:R> 99.95%
Ø對于特殊要求,我們保證R> 99.99%(帶腔環(huán)下降測量的交貨)
Ø光譜帶寬約70 nm,1 - 1 LIDT> 50 MW / cm2(cw)和> 50J / cm2(10 ns)
圖1:高功率腔鏡(a)和具有不同反射率的輸出耦合器(b)的反射光譜
分光鏡和輸出耦合器,反射率經(jīng)過(guò)精確調節
Reflectance | Tolerance |
R > 95% | ± 0.5% |
R = 80 ... 95% | ± 1% |
R = 10 ... 80% | ± 2% |
Ø泵浦鏡HR(0°,1064 nm)> 99.9%+ R(0°,808 nm)<2%
Ø光束分離器,合束器和掃描鏡
Ø另外,此處也介紹了Nd:YAG / Nd:YVO4激光器諧波的光學(xué)器件(在我們的目錄第40-45頁(yè)中)
圖2:導光鏡HR(1064 nm)+ PR(630-670 nm)的反射光譜在A(yíng)OI = 45°(a)時(shí)的s-,p-和隨機偏振,以及在不同AOI時(shí)的隨機偏振(用作 掃描鏡)(b)
Ø薄膜偏振片
Ø分離光的s和p偏振分量(反射s偏振光并透射p偏振光)
Ø可以在A(yíng)OI> 40°的情況下生產(chǎn)TFP,但是如果使用AOI≈55°(布魯斯特角),偏振是*的,并且會(huì )出現在寬波長(cháng)范圍內
Ø典型偏振比:AOI = 45°或55°時(shí),Tp / Ts> 500
Ø可以進(jìn)行極化比Tp / Ts高達10000的特殊設計
Ø較高的激光損傷閾值(適用于腔內應用)
Ø通過(guò)改進(jìn)的空腔環(huán)形設置,可以高精度測量用于p偏振光的薄膜偏振片的透射率
圖3:對于s和p偏振光,AOI = 55°(布魯斯特角)的標準TFP的反射光譜
非偏振分束器
Ø對于A(yíng)OI = 45°和不同程度的反射率,Rs?Rp(| Rs – Rp | <1.5%)的分束器
Ø最常見(jiàn)的類(lèi)型:
o Rs,p = 66±1%
o Rs,p = 50±2%
o Rs,p = 33±3%
Ø所有具有背面AR(Rs?Rp≤0.6%)的非偏振分束器
圖4:3種類(lèi)型的非偏振分束器的反射光譜(AOI = 45°)
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